
光刻膠高溫固化烤箱,半導體高溫烤箱適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè)。應用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán),經(jīng)耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復過濾,使烘箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。無塵烤箱工作室為不銹鋼結(jié)構(gòu)。
HMDS真空烤箱,全自動HMDS預處理系統(tǒng)通過對烤箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
半導體光刻烤箱晶圓涂膠烤箱、光刻涂膠用烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)。經(jīng)耐高溫高效空氣過濾器過濾,使烘箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。
半導體工藝潔凈烘箱,百級無塵烘箱具有*設(shè)計的強鼓風循環(huán)系統(tǒng)確保了溫度的穩(wěn)定性,高效循環(huán)過濾系統(tǒng)確保箱內(nèi)的潔凈度,控溫裝置采用 PID 數(shù)顯控溫(可選觸摸屏等),直觀醒目,設(shè)有可靠性保護裝置。